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热解氮化硼坩埚材料生长与性能 期刊论文
半导体情报, 1991, 期号: 6, 页码: 88-91
作者:  赵凤鸣
收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/04/12
化学汽相沉积  氮化合物  物理性质  化学性质