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化学气相渗(CVI)碳化硅工艺研究 期刊论文
高技术通讯, 1995, 期号: 4, 页码: 36-40
作者:  刘文川,魏永良,纪锐,孙守金,刘敏,王作明
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均热法  热梯度法  压差-温度梯度法