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气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2015-12-23, 公开日期: 2015-12-23
发明人:  姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹
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