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大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布 期刊论文
材料研究学报, 2000, 期号: 6, 页码: 609-614
作者:  宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时
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热丝化学气相沉积  金刚石膜  大面积生长  物理参数分布