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采用TMAH腐蚀液形成硅杯的研究 会议论文
第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 北京, 2003-09-01
作者:  沈桂芬;  姚朋军;  丁德宏;  付世;  张宏庆;  范军;  王振波
收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2013/08/21
Tmah  粗糙度  腐蚀速率  各向异性腐蚀