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择优取向氮掺杂氧化铟薄膜的制备及其光电性能 期刊论文
硅酸盐学报, 2023, 卷号: 51, 期号: 01期, 页码: 145-151
作者:  孙辉;  沈龙海;  刘子童;  陈建金;  张芮馨
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2024/01/08
氮掺杂氧化铟  磁控溅射  择优取向  光电探测