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热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析 期刊论文
金属学报, 2005, 期号: 4, 页码: 437-443
作者:  李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠
收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2012/04/12
热丝化学气相沉积  耦合模型  空间场  模拟计算