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管道热丝CVD金刚石膜反应器温度场的数值计算 期刊论文
人工晶体学报, 2002, 期号: 6, 页码: 576-582
作者:  汪爱英,纪爱玲,邹友生,孙超,黄荣芳,闻立时
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热丝化学气相沉积  金刚石膜  温度场  模拟计算  
管道热丝CVC金刚石膜反应器温度场的数值计算 期刊论文
人工晶体学报, 2002, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 576-582
作者:  汪爱英;  纪爱玲;  邹友生;  孙超;  黄荣芳;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2021/02/02
热丝化学气相沉积  金刚石膜  温度场  模拟计算