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采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析 期刊论文
传感技术学报, 2002, 期号: 3, 页码: 251-255
作者:  沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波
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Tmah  粗糙度  腐蚀速率  各向异性。