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ZnO:Al(ZAO)薄膜的制备与特性研究 期刊论文
金属学报, 2005, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:  裴志亮,张小波,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时
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直流反应磁控溅射  Zao薄膜  生长机制  光电特性