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一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2008-05-07
发明人:  谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生
收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2013/06/06
一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2007-11-28
发明人:  谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生
收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2013/06/06