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脉冲激光溅射沉积WO_3气敏膜 期刊论文
传感技术学报, 1998, 期号: 4, 页码: 78-82
作者:  赵岩,冯钟潮,张炳春,梁勇
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气体传感器  脉冲激光溅射镀膜  Wo_3膜  
脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣① 期刊论文
云南大学学报(自然科学版), 1997, 期号: 1, 页码: 66-68
作者:  赵岩,冯钟潮,梁勇
收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2012/04/12
脉冲激光溅射  Sno2  气敏膜分类号tn304．21薄膜型传感器易于微型化  集成化  同半导体技术结合起来  制成性能稳定  低能耗  强功能的气敏器件  是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法  溅射法  溶胶－凝胶（so