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纳米晶钛薄膜的制备及结构分析 期刊论文
原子能科学技术, 2002, 期号: Z1, 页码: 380-383+424
作者:  赵越,刘实,汪伟,郝万立,王隆保,李依依
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纳米晶薄膜  直流磁控溅射  空心阴极离子镀