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偏压对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响 期刊论文
金属学报, 2004, 期号: 5, 页码: 537-540
作者:  邹友生,汪伟,郑静地,孙超,黄荣芳,闻立时
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类金刚石膜  电弧离子镀  脉冲偏压  结构  力学性能