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偏压对阴极电弧离子镀AlN薄膜的影响 期刊论文
材料研究学报, 2001, 期号: 6, 页码: 675-680
作者:  黄美东,董闯,宫骏,卢春燕,孙超,黄荣芳,闻立时
收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2012/04/12
偏压  阴极电弧离子镀  物理气相沉积  Aln薄膜