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Ti/TiN多层膜显微结构的研究 期刊论文
硅酸盐学报, 1992, 期号: 5, 页码: 404-409
作者:  黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时
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钛/氮化钛  多层膜  显微结构  晶粒细化应  
Ti／TiN多层膜显微结构的研究 期刊论文
硅酸盐学报, 1992, 卷号: 20.0, 期号: 005, 页码: 404-409
作者:  黄荣芳;  郭丽萍;  宫骏;  于宝海;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2021/02/26
钛  氮化钛  膜  晶粒  显微构造