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Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为 期刊论文
金属学报, 1992, 期号: 7, 页码: 78-84
作者:  A.WAGENDRISTEL;  黄荣芳;  H.BANGERT;  杨霞;  吴立航;  王海峰;  H.PANGRATZ;  P.SKALICKY
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Ti-n多层膜  显微结构  压痕