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Characteristics of the Structure and Properties of ZnSnO3 Films by Varying the Magnetron Sputtering Parameters 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA-ENGLISH LETTERS, 2016, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 827-833
作者:  Wu FaYu;  Li JianWei;  Qi Yi;  Ding WuTong;  Guo YuanYuan;  Zhou YanWen
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CONDUCTIVE OXIDE-FILMS  THIN-FILMS  TRANSPARENT  ZnSnO3 film  Powder target  Magnetron sputtering  Optical property  Electrical property