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Mechanical behavior related to various bonding states in amorphous Si-C-N hard films 期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2014, 卷号: 258, 页码: 353-358
作者:  C. Q.;  Schlemper Zhuang, C.;  Fuchs, R.;  Zhang, L.;  Huang, N.;  Vogel, M.;  Staedler, T.;  Jiang, X.
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Si-c-n Coatings  Chemical Bond  Mechanical Behavior  Silicon Carbonitride Films  Pulsed-laser Deposition  Chemical-vapor-deposition  Nitride Thin-films  Optical-properties  Surface-morphology  Band-gap  Alloys  Microstructure  Coatings