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STUDY ON ATOMIC-SCALE STRENGTHENING MECHANISM OF TRANSITION-METAL NITRIDE MNx (M=Ti, Zr, Hf) FILMS WITHIN WIDE COMPOSITION RANGES 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2016, 卷号: 52, 期号: 12, 页码: 1601-1609
作者:  Han Kechang;  Liu Yiqi;  Lin Guoqiang;  Dong Chuang;  Tai Kaiping;  Jiang Xin
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transition-metal nitride film  arc ion plating  composition  mechanical property  strengthening mechanism