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Pulsed-laser-deposited epitaxial aluminum nitride films on (111) Si for surface acoustic-wave applications 期刊论文
Applied Physics a-Materials Science & Processing, 2003, 卷号: 76, 期号: 1, 页码: 93-96
作者:  J. M. Liu;  N. Chong;  H. L. W. Chan;  K. H. Wong;  C. L. Choy
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