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掠射角溅射沉积纳米结构氧化钨薄膜 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33.0, 期号: 012, 页码: 1303-1308
作者:  王美涵;  温佳星;  陈昀;  雷浩
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氧化钨薄膜  纳米结构  掠射角  磁控溅射  
掠射角溅射沉积纳米结构氧化钨薄膜 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33.0, 期号: 012, 页码: 1303-1308
作者:  王美涵;  温佳星;  陈昀;  雷浩
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氧化钨薄膜  纳米结构  掠射角  磁控溅射  
Effect of negative bias on the composition and structure of the tungsten oxide thin films deposited by magnetron sputtering 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2015, 卷号: 359, 页码: 521-525
作者:  Wang, Meihan;  Lei, Hao;  Wen, Jiaxing;  Long, Haibo;  Sawada, Yutaka;  Hoshi, Yoichi;  Uchida, Takayuki;  Hou, Zhaoxia;  haolei@imr.ac.cn
收藏  |  浏览/下载：130/0  |  提交时间：2016/04/21
Tungsten Oxide Thin Films  Magnetron Sputtering  Negative Bias Voltage (V-b)  Structure  Composition