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Thermodynamics-based sealing method for anodized aluminum used in semiconductor processing apparatuses 期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY, 2025, 卷号: 216, 页码: 241-259
作者:  Wang, Yuhang;  Zhao, Yang;  Wang, Shaogang;  Chen, Ji;  Zhang, Tao;  Wang, Fuhui
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2025/04/27
Semiconductor  Thermodynamic calculations  Anodized aluminum  Sealing method  Design principle