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Effect of film thickness on phase structure of epitaxial non-doped hafnium oxide films 期刊论文
MICRON, 2025, 卷号: 190, 页码: 8
作者:  He, Mengdi;  Yao, Tingting;  Yan, Xuexi;  Qiao, Beibei;  Qian, Zhen;  Jiang, Yixiao;  Tian, Min;  Yang, Zhiqing;  Chen, Chunlin
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Hafnium oxide  Thin film  Pulsed laser deposition  Orthorhombic phase  Transmission electron microscopy