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Large scale integration of CVD-graphene based NEMS with narrow distribution of resonance parameters 期刊论文
2D MATERIALS, 2017, 卷号: 4, 期号: 2, 页码: 7
作者:  Arjmandi-Tash, Hadi;  Allain, Adrien;  Han, Zheng (Vitto);  Bouchiat, Vincent
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graphene  resonators  quality factor  coefficient of thermal expansion  mass and force sensors