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MEASUREMENTS OF HARDNESS AND ELASTIC MODULUS OF Cu THIN FILM BY MEANS OF NANOINDENTATION 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2010, 卷号: 46, 期号: 9, 页码: 1098-1102
作者:  Li Yesheng;  Wang Wei
收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2021/02/02
nanoindentation  Cu film  hardness  elastic modulus