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Failure mechanisms of multilayer TiN films based on mechanical properties of film and substrate 期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2024, 卷号: 487, 页码: 8
作者:  Si, Biao;  Sun, Linfan;  Zhao, Zhuo;  Zhou, Yanwen;  Zhou, Yangtao
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2025/04/27
Adhesion  Synchronous deformation  Elastic modulus  Mechanical property  Film structure