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氢和铝掺杂的ZnO透明导电薄膜的制备和性能
学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2011
作者:
鲁伟明
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浏览/下载:107/0
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提交时间:2013/04/12
射频磁控溅射
透明导电氧化物薄膜
Zno
低温沉积
表面功函数
应力
氢气
反应磁控溅射掺杂ZnO透明导电氧化物薄膜的研究
学位论文
, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2007
作者:
张小波
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浏览/下载:98/0
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提交时间:2012/04/10
磁控溅射
透明导电氧化物薄膜
Zno
电学
光学性能
低温沉积
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
会议论文
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09
作者:
张小波
;
裴志亮
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
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浏览/下载:141/0
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提交时间:2013/08/21
透明导电薄膜
直流磁控溅射法
电磁线圈
低温沉积
电阻率
脉冲偏压电弧离子低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能
期刊论文
金属学报, 2003, 期号: 5, 页码: 516-520
作者:
黄美东,孙超,林国强,董闯,闻立时
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2012/04/12
电弧离子镀
低温沉积
脉冲偏压
Tin 薄膜
离子镀硬质膜技术的最新进展和展望
期刊论文
真空, 2000, 期号: 1, 页码: 1-11
作者:
闻立时,黄荣芳
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浏览/下载:112/0
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提交时间:2012/04/12
硬质新材料
多层复合
远离平衡态工艺
低温沉积
二重工艺
电弧离子镀低温沉积技术的研究
会议论文
首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会论文集, 苏州, 1998-10-01
作者:
黄荣若
;
闻立时
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提交时间:2013/08/21
电弧离子镀
低温沉积
薄膜技术
基体材料