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一种测量硬质薄膜残余应力的新方法 期刊论文
金属学报, 2008, 期号: 1, 页码: 125-128
作者:  赵升升;  华伟刚;  杜昊;  宫骏;  孙超;  李家宝
收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2012/04/12
硬质薄膜  残余应力  测量方法  剥层曲率半径法