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激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构 期刊论文
材料研究学报, 1998, 期号: 6, 页码: 663-664
作者:  张炳春,李梅,王亚庆,冯钟潮
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激光  Ti(c  化学气相反应生长薄膜  N)