IMR OpenIR

浏览/检索结果: 共1条,第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
HFCVD生长金刚石薄膜中气体状态参数空间场模拟计算 期刊论文
金属学报, 1999, 卷号: 35.0, 期号: 6, 页码: 648-653
作者:  宋贵宏,孙超,黄荣芳,闻立时
收藏  |  浏览/下载:134/0  |  提交时间:2012/04/12
热丝化学气相沉积  金刚石薄膜  形核  均匀生长  空间场  模拟计算