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改性介孔二氧化硅/有机大分子复合磨料及其化学机械抛光液的制备 成果
2004
完成人/完成单位:  张劲松;  张军旗;  杨永进;  曹小明;  刘强;  李明天;  梁燕;  杨振明;  谢素箐;  江小平;  张革
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复合磨料  化学机械抛光液