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一种刻蚀基板法外延定向生长氮化物纳米片网络的方法 成果
2010
完成人/完成单位:  从洪涛;  唐永炳;  成会明
收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2013/07/24
氧化硅薄膜  外延定向生长  纳米片网格结构