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磁控溅射Fe-N薄膜的微结构研究 期刊论文
电子显微学报, 2002, 期号: 5, 页码: 645-646
作者:  詹倩,贺连龙,李斗星
收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/04/12
Fe-n薄膜:7792  微结构表征:4484  溅射:1988  微观结构:1642  高分辨像:1585  沉积时间:1505  材料科学:1481  中国科学院:1384  薄膜厚度:1346  金属研究所:1344