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放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响 期刊论文
材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311
作者:  程华;  钱永产;  薛军;  吴爱民;  石南林
收藏  |  浏览/下载：160/0  |  提交时间：2013/12/25
材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  Ecr-pecvd  放电气体