中文版 | English

在结果中检索

IMR OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2015, 期号: 10
作者:  宋贵宏;  肖金泉;  杜昊;  陈立佳
收藏  |  浏览/下载：153/0  |  提交时间：2016/04/19
复合材料  Tin-cu纳米复合膜  硬度  电弧离子镀  磁场强度  大颗粒  沉积速率  
PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究 学位论文
, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
作者:  程华
收藏  |  浏览/下载：141/0  |  提交时间：2012/04/10
微晶硅薄膜  Pecvd  Ar放电  沉积速率  组织结构  结晶状态  薄膜稳定性  电学特性  光学特性  
中频反应磁控溅射制备AlN薄膜的工艺研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 4, 页码: 332-335
作者:  佟洪波;  巴德纯;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2012/04/12
氮化铝  中频反应溅射  沉积速率  光学性能