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TiN类薄膜的激光化学气相沉积 期刊论文
兵器材料科学与工程, 1999, 期号: 1, 页码: 41-44
作者:  张鸿俭,冯钟潮,张鹤
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Tin类薄膜  钛合金  激光化学气相沉积  
大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织 期刊论文
金属学报, 1992, 期号: 8, 页码: 67-71
作者:  冯钟潮;  郭良;  梁勇;  韩健;  侯万良;  宁小光
收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/04/12
激光化学气相沉积  Si_3n_4膜  组织结构  硬度  耐磨  抗蚀