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气相沉积硅薄膜微结构及悬挂键缺陷研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2011, 期号: 2, 页码: 178-182
作者:  黄香平;  肖金泉;  邓宏贵;  杜昊;  闻火;  黄荣芳;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：100/0  |  提交时间：2012/04/12
纳晶硅  悬挂键密度  电子自旋共振  Raman光谱