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基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性 期刊论文
真空科学与技术学报, 2004, 期号: 1, 页码: 82-85
作者:  蔺增,巴德纯,王志,闻立时
收藏  |  浏览/下载：93/0  |  提交时间：2012/04/12
类金刚石薄膜  不锈钢  射频等离子体增强化学气相沉积  摩擦  磨损