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HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2000, 期号: 4, 页码: 390-393
作者:  宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时
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金刚石膜  热丝化学气相沉积  红外透射率  晶体形貌