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正交电磁场离子源及其在PVD法制备硬质涂层中的应用 期刊论文
真空, 2014, 期号: 4, 页码: 48-52
作者:  范迪;  雷浩;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2015/01/15
考夫曼离子源  霍尔离子源  阳极层线性离子源  Pvd