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射频反应溅射制备MgO二次电子发射薄膜 期刊论文
金属学报, 2016, 期号: 1
作者:  王彬;  熊良银;  刘实
收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2016/04/19
射频反应溅射沉积  薄膜厚度  表面粗糙度  二次电子发射系数  耐电子束轰击能力