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直流磁控溅射钛及钛合金薄膜的性能研究 期刊论文
原子能科学技术, 2008, 期号: 10, 页码: 933-937
作者:  张文峰;  刘实;  王隆保;  戎利建
收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2012/04/12
钛  薄膜制备  磁控溅射