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电弧离子镀中不同偏压模式对TiN薄膜形貌的影响 期刊论文
真空, 2001, 期号: 3, 页码: 36-38
作者:  黄美东,孙超,董闯,黄荣芳,闻立时
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电弧离子镀  Tin  脉冲偏压  薄膜形貌