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斜入射对物理气相沉积铜膜结构的影响 会议论文
2002年材料科学与工程新进展, 北京, 2002-10-01
作者:  周耐根;  周浪;  朱圣龙
收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2013/08/21
入射角  分子动力学  铜薄膜  物理气相沉积  薄膜结构