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(Ti;Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备 期刊论文
金属学报, 2012, 期号: 3, 页码: 277-282
作者:  赵升升;  程毓;  常正凯;  王铁钢;  孙超
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(Ti  A1)n  硬质涂层  应力分布  调整应力  N_2分压