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中频反应磁控溅射沉积Al_2O_3薄膜中迟滞回线的研究 期刊论文
真空, 2007, 期号: 3, 页码: 32-35
作者:  廖国进;  巴德纯;  闻立时;  刘斯明;  阎绍峰
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迟滞回线  反应溅射  中频溅射  氧化铝薄膜  
中频反应磁控溅射沉积Al2O3薄膜中迟滞回线的研究 期刊论文
真空, 2007, 卷号: 44.0, 期号: 003, 页码: 32-35
作者:  廖国进;  巴德纯;  闻立时;  刘斯明;  阎绍峰
收藏  |  浏览/下载:123/0  |  提交时间:2021/02/02
迟滞回线  反应溅射  中频溅射  氧化铝薄膜