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MPCVD制备SiC薄膜及其在重金属离子痕量检测方面的研究 会议论文
TFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
作者:  王春;  黄楠;  庄昊;  杨兵;  田清泉;  郭宇宁;  刘鲁生;  姜辛
收藏  |  浏览/下载：180/0  |  提交时间：2016/04/20
Mpcvd  Sic薄膜  重金属离子检测