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Effect of Heat Treatment on the Microstructure and Residual Stresses in (Ti,Al)N Films 期刊论文
Journal of Materials Science & Technology, 2011, 卷号: 27, 期号: 5, 页码: 385-392
作者:  Y. Yang;  S. S. Zhao;  J. Gong;  X. Jiang;  C. Sun
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Arc Ion Plating  (Ti  Heat Treatment  Al)n  Microstructure  Stress Distribution  0.45 Thin-films  Mechanical-properties  Hard Coatings  Tin Films  Pvd  Thickness  Evaporation  Deposition  Growth  Tools