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Deposition, microstructure and hardness of TiN/(Ti,Al)N multilayer films 期刊论文
International Journal of Refractory Metals & Hard Materials, 2012, 卷号: 32, 页码: 27-32
作者:  Y. H. Zhao;  L. Hu;  G. Q. Lin;  J. Q. Xiao;  C. Dong;  B. H. Yu
收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2013/02/05
Pulse Biased Arc Ion Plating  Tin/(Ti  Al)n Multilayer Films  Tem  Hardness  Mechanical-properties  Thin-films  Superlattice Films  Coatings  Tin  Stress  Growth  Performance  Transition  Monolayer